Makroporöses Silizium
Das makroporöse Silizium besteht aus einkristallinem, n- bzw. p-dotiertem Silizium, das mittels eines photoelektrochemischen Ätzverfahrens hergestellt wird. Die Anordnung der Poren und die Porenabstände werden durch eine Vorstrukturierung festgelegt.
Das Material ist direkt als Membran nutzbar oder auch als einseitig geschlossenes Templat zur gezielten Herstellung von Makrostrukturen.
Die MakroPor Membranen besitzen Poren mit einem einheitlichen Porendurchmesser (Abweichung unter 5%), der über die gesamte Porenlänge hindurch konstant bleibt. Die Poren sind aufgrund der Vorstrukturierung über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig exakt hexagonal oder quadratisch angeordnet. Durch eine zusätzliche anisotrope Ätzung können die runden Poren auch zu viereckigen aufgeweitet werden.
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Materialeigenschaften
- Porendurchmesser anpassbar ab 1 µm bis 17 µm (größer möglich)
- Porenabstand und Anordnung der Poren anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung
- Standardabweichung < 5%
- Durchflussmembranen mit symmetrischen Poren
- Poröses Silizium mit einseitig geschlossenen Poren
- Porentiefen von wenigen µm bis 500 µm
- Porosität einstellbar ab 20%
- thermisch stabil bis 1200ºC (abhängig von der Umgebung)
- funktionalisierbare Oberfläche
Standardprodukte
| Porenabstand | Porendurchmesser | Porenlänge | Anordnung der Poren |
|---|---|---|---|
| 1,5 µm | 1 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 4,2 µm | 2,5 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 12 µm | 5 µm | 350, 500 µm | Quadratisch |
| 20 µm | 8 µm | 500 µm | Quadratisch |
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